类别

单位

参数

测试/分析方法

P型 电阻率

(ohm.cm)

200-500

KDY-2 电阻率/阻力仪表

硼

ppba

0.5-1.2

LT-FTIR

N型 电阻率

Ohm.cm

2-25

KDY-2 电阻率/阻力仪表

施主

ppba

3

LT-FTIR; ICP-MS

N型 少数电子载流子寿命

uS

100 min.

LT-IC 寿命测试仪

碳含量

at/cm3

0.5x1016 max.

FTIR

氧含量

at/cm3

1.0x1017 max.

FTIR

总金属杂质 (Fe, Cr, Ni, Cu, Zn, Na,K, Ca)

ppmw

0.05-0.5 max.

ICP-MS

状况

表面

灰色, 无光泽，粗糙

目测

表面

无氧化层

光学显微镜

其他